جزوه تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی دکتر فتحی پور
استاد برجسته دانشگاه تهران
568 صفحه در قالب PDF
فهرست مطالب:
فصل اول : معرفی و تاریخچه
فصل دوم : تکنولوژی VLSI سیلیکن
فصل سوم : رشد بلور ، ساخت قرص و خواص اساسی قرص های سیلیسیمی
فصل چهارم : اتاق تمیز ، تمیز کردن قرص و جذب
فصل پنجم : نقش و نگار نوری
فصل ششم : اکسیداسیون گرمایی
فصل هفتم : نفوذ
جزوه تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی دکتر فتحی پور دانشگاه تهران