فایل بصورت پاورپوینت در 33صفحه می باشد
روش رسوب شیمیایی فاز بخار مستلزم رسوبگذاری مادهی شامل نانو ذرات از فاز گازی است. ماده آنقدر گرم میشود تا به صورت گاز درآید و سپس به صورت یک ماده جامد بر روی سطح، معمولاً تحت خلأ رسوبگذاری میگردد. ممکن است رسوبگذاری مستقیم یا رسوبگذاری از طریق واکنش شیمیایی، محصول تازهای را به وجود آورد که با مادهی تبخیر شده تفاوت زیادی داشته باشد. این فرآیند به آسانی نانوپودرهایی از اکسیدها و کاربیدهای فلزات را پدید میآورد ، مشروط بر اینکه بخارات کربن یا اکسیژن همراه با فلز در محیط وجود داشته باشد.
رسوب شیمیایی فاز بخار