اطلاعات کامل و جامع در زمینه سیستم های میکروالکترومکانیکی و نانوالکترومکانیکی را می توانید با استفاده هندبوک
MEMS-NEMS Handbook - Techniques and Applications
بدست آورید. این کتاب شامل بیش از 2000 صفحه مطلب مفید در مورد روش های طراحی و ساخت این سیستم ها می باشد.
نویسندگان: Cornelius T. Leondes
ناشر: Springer
سال نشر: 2006
MEMS-NEMS Handbook